光電半導(dǎo)體封裝凈化車(chē)間工程

半導(dǎo)體封裝車(chē)間介紹

半導(dǎo)體封裝凈化車(chē)間將通過(guò)測(cè)試的晶圓按照產(chǎn)品型號(hào)及功能需求加工得到獨(dú)立芯片的有專(zhuān)業(yè)潔凈度及環(huán)境控制的車(chē)間。目前國(guó)內(nèi)比較常見(jiàn)的為萬(wàn)級(jí)及千級(jí)潔凈區(qū)。溫度控制在22+2℃為宜，相對(duì)濕度為55+10％，新風(fēng)量一般非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30％。

半導(dǎo)體凈化車(chē)間現(xiàn)狀

近幾年，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅猛，而半導(dǎo)體凈化車(chē)間的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求尚沒(méi)有統(tǒng)一的規(guī)定，以半導(dǎo)體封裝凈化車(chē)間為例，工程承建商只能依據(jù)甲方生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及凈化車(chē)間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造凈化車(chē)間的空氣潔凈度級(jí)別等級(jí)（如下表格）。

半導(dǎo)體封裝工藝流程

封裝工藝流程為：劃片→裝片→鍵合→塑封→去飛邊→電鍍→打印→切筋和成型→外觀檢查→成品測(cè)試→包裝出貨。

半導(dǎo)體封裝凈化車(chē)間特點(diǎn)

半導(dǎo)體凈化車(chē)間必須以無(wú)生命微粒為控制的對(duì)象，主要控制空氣塵埃微粒污染。同時(shí)，半導(dǎo)體凈化車(chē)間對(duì)靜電的要求也極其嚴(yán)格，也就對(duì)車(chē)間的濕度提出了更高的要求。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成cmos集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體凈化車(chē)間的溫度設(shè)置在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。同時(shí)，在車(chē)間入口要安裝高標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)淋室及esd除靜電設(shè)備，運(yùn)行時(shí)嚴(yán)格執(zhí)行出入管理制度，嚴(yán)謹(jǐn)將粉塵和靜電帶入車(chē)間內(nèi)。

工程內(nèi)容

總冷凍噸位：330rt

主機(jī)：螺桿主機(jī)

空調(diào)凈化面積：8300m2

凈化等級(jí)：萬(wàn)級(jí)/千級(jí)/百級(jí)

壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5pa

平均風(fēng)速：0.3－0.5m/s（百級(jí)）

噪聲：≤65db（a）

照度：300lx

圍護(hù)材料：墻面及頂面使用50㎜夾芯彩鋼板，圓弧墻角、門(mén)、窗框等采用專(zhuān)用氧化鋁型材

地面工程：凈化車(chē)間內(nèi)地面采用防靜電型pvc地板

整體施工：彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風(fēng)風(fēng)調(diào)系統(tǒng)工程、車(chē)間排風(fēng)系統(tǒng)工程、配電系統(tǒng)工程、工藝管道工程、氮?dú)夤こ?、給排水工程等。